发明名称 APPARATUS FOR MAKING A SINGLE CRYSTAL OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 GB2002651(B) 申请公布日期 1982.03.03
申请号 GB19780029866 申请日期 1978.07.14
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人
分类号 C30B15/24;C30B27/02;(IPC1-7):B01J17/18;C01B25/08;C01B27/00 主分类号 C30B15/24
代理机构 代理人
主权项
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