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发明名称 Quarzglaskörper für die Halbleitertechnik
摘要
申请公布号 CH527134(A) 申请公布日期 1972.08.31
申请号 CH19690002689 申请日期 1969.02.21
申请人 HERAEUS-SCHOTT QUARZSCHMELZE GMBH 发明人 BAEUMLER,PETER,DR.;HOEFER,GERHARD,DR.;KOERNER,TASSILO;MOHN,HEINRICH,DR.;DR. SEILER,KARL,PROF.;SIMMAT,FRITZ;RAU,KARL-HEINZ,DR.
分类号 C03B19/00;C03B23/20;C03B23/207;C03B32/02;C03C3/06;C03C10/00;C03C17/02;C03C17/23;C03C17/34;C30B31/10;H01L21/00;(IPC1-7):C03C3/06;H01L7/00 主分类号 C03B19/00
代理机构 代理人
主权项
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