| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO APPARATUS INCORPORATING HIGH-VACUUM PUMPING SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1291353(A) |
申请公布日期 |
1972.10.04 |
| 申请号 |
GB19700045759 |
申请日期 |
1970.09.25 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
F04B37/16;F04D19/04;H01J37/18;H01J37/26 |
主分类号 |
F04B37/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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