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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3109074(A1) 申请公布日期 1982.02.25
申请号 DE19813109074 申请日期 1981.03.10
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. 发明人 MAEGUCHI,KENJI;TANGO,HIROYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/762;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12;G11C11/40 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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