| 发明名称 |
METHOD OF SEPERATING ELEMENTS OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5735341(A) |
申请公布日期 |
1982.02.25 |
| 申请号 |
JP19800110906 |
申请日期 |
1980.08.12 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
ENDOU NORIO;IIZUKA HISAKAZU |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/76;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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