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发明名称
PHOSPHORUS DIFFUSION PROCESS FOR SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号
GB2010012(B)
申请公布日期
1982.02.24
申请号
GB19780040895
申请日期
1978.10.17
申请人
IBM CORP
发明人
分类号
C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):B01J17/34
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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