| 发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING THIN FILMS BY MEANS OF BETA RAYS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2081892(A) |
申请公布日期 |
1982.02.24 |
| 申请号 |
GB19800029406 |
申请日期 |
1980.09.11 |
| 申请人 |
FISCHER HELMUT GMBH & CO INSTITUT FUER ELEKTRONIK UND ME |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B15/02;(IPC1-7):G01B15/02 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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