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发明名称 METHOD OF DETERMINING MICROPARTICLE CONCENTRATION IN PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 SU803637(A1) 申请公布日期 1982.02.23
申请号 SU19792787964 申请日期 1979.06.27
申请人 INSTFIZ AN BSSR 发明人 DUBOVA G.S.,SU;OLEJNIK T.V.,SU;KHAJRULLINA A.YA.,SU;ZHALKOVSKAYA L.Z.,SU
分类号 G01N21/00;(IPC1-7):G01N21/00 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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