| 发明名称 |
DRAWING DEVICE BY ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5731134(A) |
申请公布日期 |
1982.02.19 |
| 申请号 |
JP19800105017 |
申请日期 |
1980.08.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAMURA KAZUMITSU;MIYAZAKI MASARU |
| 分类号 |
H01L21/68;H01J37/302;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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