| 发明名称 |
Arrangement for focusing a beam of charged particles with variable focus. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0045844(A1) |
申请公布日期 |
1982.02.17 |
| 申请号 |
EP19810105111 |
申请日期 |
1981.07.01 |
| 申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
GERLACH, ROBERT LOUIS |
| 分类号 |
H01J29/64;H01J29/66;H01J37/02;H01J37/141;(IPC1-7):H01J37/14 |
主分类号 |
H01J29/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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