| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5729579(A) |
申请公布日期 |
1982.02.17 |
| 申请号 |
JP19800102505 |
申请日期 |
1980.07.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UMEYAMA KAZUO;OOTSUKA KENJI;SHIGA TOSHIO |
| 分类号 |
H01F41/14;C23F1/00;H01F10/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01F41/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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