| 发明名称 |
DEVICE MANUFACTURE INVOLVING PATTERN DELINEATION IN THIN LAYERS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0035529(A4) |
申请公布日期 |
1982.02.16 |
| 申请号 |
EP19800901737 |
申请日期 |
1981.03.09 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
MCGILLIS, DANIEL ALBERT |
| 分类号 |
H01L21/306;G01N17/02;G01R31/302;G03F7/30;H01L21/311;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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