发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5727995(A) |
申请公布日期 |
1982.02.15 |
申请号 |
JP19800101610 |
申请日期 |
1980.07.24 |
申请人 |
SANKEN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KIYOMURA AKIO;TAMURA ISAMU |
分类号 |
C30B11/06;C30B29/40;C30B29/44;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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