| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN TITANIUM OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5727928(A) |
申请公布日期 |
1982.02.15 |
| 申请号 |
JP19800099320 |
申请日期 |
1980.07.22 |
| 申请人 |
TEIJIN LTD |
发明人 |
YATABE TOSHIAKI;NISHIHARA TOSHIO;SUZUKI MASAO |
| 分类号 |
C01G23/04;C01G23/053;C23C18/12 |
主分类号 |
C01G23/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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