发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5264890(A) 申请公布日期 1977.05.28
申请号 JP19750141285 申请日期 1975.11.25
申请人 SHARP KK 发明人 YANO MORICHIKA;KURATA YUKIO;YAMAMOTO SABUROU;MATSUI KANEKI;KOMURO AKIRA
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/314;H01S5/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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