发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5264890(A) |
申请公布日期 |
1977.05.28 |
申请号 |
JP19750141285 |
申请日期 |
1975.11.25 |
申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
YANO MORICHIKA;KURATA YUKIO;YAMAMOTO SABUROU;MATSUI KANEKI;KOMURO AKIRA |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/314;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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