| 发明名称 |
FORMATION OF COMPOUND BY ION INJECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5724631(A) |
申请公布日期 |
1982.02.09 |
| 申请号 |
JP19800100385 |
申请日期 |
1980.07.22 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
MAEYAMA SATOSHI;KAJIYAMA KENJI |
| 分类号 |
H01J37/317;B01J19/08;C23C14/48;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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