发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5721814(A) 申请公布日期 1982.02.04
申请号 JP19800096701 申请日期 1980.07.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SUZUKI YOSHIAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208;H01L21/263;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址