| 发明名称 |
MIT HOCHFREQUENZENTLADUNG ARBEITENDE ZERSTAEUBUNGSAETZVORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3116732(A1) |
申请公布日期 |
1982.02.04 |
| 申请号 |
DE19813116732 |
申请日期 |
1981.04.28 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOKUDA SEISAKUSHO |
发明人 |
KURIYAMA,NOBORU |
| 分类号 |
C23F4/00;C23C14/34;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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