| 发明名称 |
PROCEDE DE DECAPAGE PAR PULVERISATION D'IONS METALLIQUES NEGATIFS |
| 摘要 |
<P>PROCEDE DE DECAPAGE PAR PULVERISATION.</P><P>UNE SOURCE D'IONS NEGATIFS SE COMPOSE D'UN METAL B CONSTITUANT AVEC LE METAL A UN COMPOSE INTERMETALLIQUE. LE METAL B, LORSQU'IL EST COMBINE AVEC LE METAL A, PEUT ETRE IONISE DE FACON SUBSTANTIELLE ET FORMER DES IONS NEGATIFS FORTEMENT ENERGETIQUES DU METAL B LORSQU'IL EST BOMBARDE PAR DES PARTICULES ENERGETIQUES DE DIMENSIONS ATOMIQUES.</P><P>CES IONS NEGATIFS PROVOQUENT UN DECAPAGE IMPORTANT.</P>
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| 申请公布号 |
FR2410361(A1) |
申请公布日期 |
1979.06.22 |
| 申请号 |
FR19780028299 |
申请日期 |
1978.09.26 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
JEROME J. CUOMO, RICHARD J. GAMBINO ET JAMES M. HARPER;GAMBINO RICHARD J;HARPER JAMES M |
| 分类号 |
C23F4/00;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/20 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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