发明名称 An apparatus for continuous treatment of a continuous-length material with low temperature plasma
摘要
申请公布号 GB2080611(A) 申请公布日期 1982.02.03
申请号 GB19810018765 申请日期 1981.06.18
申请人 SHIN ETSU CHEMICAL CO LTD;HITACHI LTD;TORAY INDUSTRIES INC 发明人
分类号 B01J19/08;B29C59/14;B29C71/04;B29D7/01;C08J7/00;D06B19/00;D06M10/02;F16J15/00;F16J15/16;H01J37/18;(IPC1-7):H01J37/00 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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