发明名称 THIN FILM PUMP
摘要
申请公布号 JPS5720576(A) 申请公布日期 1982.02.03
申请号 JP19810081281 申请日期 1981.05.29
申请人 OTSUTOO TOUTSUHIENHAAGEN GMBH 发明人 FURIIDORITSUHI SHIYUTAARUKOTSU
分类号 F04B43/10;F04B43/00;F04B43/107 主分类号 F04B43/10
代理机构 代理人
主权项
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