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发明名称 METHOD OF REMOVING LATTICE FAULT
摘要
申请公布号 JPS55145341(A) 申请公布日期 1980.11.12
申请号 JP19800048173 申请日期 1980.04.14
申请人 IBM 发明人 ARUFURETSUDO SHIYUMITSUTO;GERUTO SHIYOORAA
分类号 H01L21/265;H01L21/322 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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