PRECISION WORKING METHOD OF SOLID SURFACE,申请号JP19790053449-传众专利搜索

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发明名称	PRECISION WORKING METHOD OF SOLID SURFACE
摘要
申请公布号	JPS55145178(A)	申请公布日期	1980.11.12
申请号	JP19790053449	申请日期	1979.05.02
申请人	KOGYO GIJUTSUIN	发明人	TSURUSHIMA TOSHIO
分类号	C23F4/00;C23F1/00;H01L21/265;H01L21/306	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
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