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发明名称 APPARATUS FOR TESTING PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 SU902109(A1) 申请公布日期 1982.01.30
申请号 SU19782700146 申请日期 1978.12.18
申请人 MEZHERITSKIJ DANIIL G,SU;RABINOVICH ROMAN A,SU;KURGIN VITALIJ A,SU;TERENTEV NIKOLAJ M,SU 发明人 MEZHERITSKIJ DANIIL G,SU;RABINOVICH ROMAN A,SU;KURGIN VITALIJ A,SU;TERENTEV NIKOLAJ M,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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