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经营范围
发明名称
CASSETTE FOR CHEMICAL TREATMENT, MAINLY OF MICROCIRCUIT SUBSTRATES
摘要
申请公布号
SU902111(A1)
申请公布日期
1982.01.30
申请号
SU19792847129
申请日期
1979.11.26
申请人
FATYUNIN BORIS N,SU
发明人
FATYUNIN BORIS N,SU
分类号
H01L21/77;H01L21/70;(IPC1-7):H01L21/70
主分类号
H01L21/77
代理机构
代理人
主权项
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