摘要 |
<P>LE PROCEDE DE L'INVENTION COMPREND AU MOINS DEUX ETAPES, LA DEUXIEME ETAPE POUVANT ETRE REALISEE SUIVANT PLUSIEURS VARIANTES. PENDANT LA PREMIERE ETAPE, COMMUNE A TOUTES LES VARIANTES, UNE COUCHE MINCE DE METAL 102, PAR EXEMPLE DU PLATINE, EST DISPOSEE SUR LA COUCHE DE SILICIUM AMORPHE 101. LA SECONDE ETAPE, SELON LA VARIANTE PREFEREE CONSISTE EN UN TRAITEMENT THERMIQUE PENDANT LEQUEL LA COUCHE DE METAL 102 EST EXPOSEE A UN PLASMA D'HYDROGENE OU DE L'UN DE SES ISOTOPES. LA COUCHE DE METAL 102 JOUE UN ROLE DE FILTRAGE DES IONS D'HYDROGENE ET DE PROTECTION DE LA COUCHE DE SILICIUM AMORPHE 101.</P><P>APPLICATION A LA REALISATION DE DISPOSITIFS DE CONVERSION PHOTOELECTRIQUES 10 COMPRENANT AU MOINS UNE COUCHE DE SILICIUM AMORPHE 101 REALISEE SELON CE PROCEDE.</P>
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