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发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5732378(A) 申请公布日期 1982.02.22
申请号 JP19800107525 申请日期 1980.08.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITAKURA HIDEAKI;ABE HARUHIKO;KONISHI KANJI
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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