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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR WORKING ION BEAM
摘要
申请公布号 JPS5714485(A) 申请公布日期 1982.01.25
申请号 JP19800087763 申请日期 1980.06.30
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OKANO HARUO;HORIIKE YASUHIRO
分类号 B23K15/00 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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