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发明名称
摘要
申请公布号 JPS574123(B2) 申请公布日期 1982.01.25
申请号 JP19740035282 申请日期 1974.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/80;H01L21/331;H01L29/70;H01L29/73;H01L29/76;H03F3/04;H03F3/20;H03F3/30;H03F3/34;H03F3/345;H03F3/68 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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