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经营范围
发明名称
MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5710444(A)
申请公布日期
1982.01.20
申请号
JP19810053059
申请日期
1981.04.10
申请人
IBM
发明人
RICHIYAADO ARAN KOOKORAN;UIRIAMU ANDORIYUU KIINAN;DEIMETORIASU MAIKARIDESU;BOBU HONGU YUN
分类号
G01N27/00;G01N27/04;G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01N27/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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