| 发明名称 |
SYSTEM FOR CHECKING A PATTERN ON A FLAT BASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0004505(B1) |
申请公布日期 |
1982.01.20 |
| 申请号 |
EP19790400173 |
申请日期 |
1979.03.16 |
| 申请人 |
THOMSON-CSF |
发明人 |
LACOMBAT, MICHEL;DESPERQUES-VOLMIER, SERGE |
| 分类号 |
G03B27/32;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/956;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):01B9/08;01N21/31;01B11/02;05K13/08;01J1/12 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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