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发明名称 MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS577896(A) 申请公布日期 1982.01.16
申请号 JP19800080862 申请日期 1980.06.17
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KOKUBU YOSHIHIRO
分类号 C30B27/02;C30B15/00;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
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