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发明名称
摘要
申请公布号 JPS572177(B2) 申请公布日期 1982.01.14
申请号 JP19770134081 申请日期 1977.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/67;H01L21/52;H01L21/58;H01L21/68 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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