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发明名称 SUBSTRATE FEEDING LOGIC OPERAND AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
摘要
申请公布号 JPS575355(A) 申请公布日期 1982.01.12
申请号 JP19810071307 申请日期 1981.05.11
申请人 THOMSON CSF 发明人 MOORISU DOUPEI
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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