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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS64265(A) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 JP19870153448 申请日期 1987.06.22
申请人 CANON ELECTRON INC 发明人 NAKABASHI MITSUO;SANO HIDETO;HAYASHI HISANORI;OSATO TAKESHI;GOTO HIROICHI;ABIKO SHUZO
分类号 C23C14/54;H01L21/205;H01L21/66 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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