| 发明名称 |
AMOPHOUS SILICON AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS573710(A) |
申请公布日期 |
1982.01.09 |
| 申请号 |
JP19800077424 |
申请日期 |
1980.06.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
SUGA FUKUHIKO;KIKUCHI NORIBUMI;KOBAYASHI SHINICHIROU |
| 分类号 |
C01B33/02;B01J8/24;C01B33/029;C01B33/04;H01L21/18 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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