| 发明名称 |
METHOD OF FORMING OXIDATION LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS571437(A) |
申请公布日期 |
1982.01.06 |
| 申请号 |
JP19810050677 |
申请日期 |
1981.04.06 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
ASHITSUTO KEI REI;AANORUDO RAISUMAN |
| 分类号 |
H01J37/32;B01J19/08;C23C8/36;C23C14/08;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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