| 发明名称 |
DEVICE FOR AUTOMATICALLY POSITIONING WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS571229(A) |
申请公布日期 |
1982.01.06 |
| 申请号 |
JP19810065296 |
申请日期 |
1981.05.01 |
| 申请人 |
PERKIN ELMER CORP |
发明人 |
FURETSUDO SHII GABURIERU;DEIBUITSUTO EE MAAKURU |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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