发明名称 |
ATMOSPHERIC GAS INTRODUCING APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS57484(A) |
申请公布日期 |
1982.01.05 |
申请号 |
JP19800013907 |
申请日期 |
1980.02.07 |
申请人 |
ORIGIN ELECTRIC |
发明人 |
ABE HIDENOBU;HASEGAWA YASUO |
分类号 |
F27D7/02;F27B17/00;F27D7/06;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
F27D7/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|