发明名称 METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR HETERO STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0427115(A) 申请公布日期 1992.01.30
申请号 JP19900131153 申请日期 1990.05.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KODAMA KUNIHIKO;OTSUKA NOBUYUKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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