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发明名称 TARGET FOR SPATTERING BY PLENAR MAGNETRON
摘要
申请公布号 JPS56169773(A) 申请公布日期 1981.12.26
申请号 JP19800073613 申请日期 1980.05.30
申请人 SHARP KK 发明人 ENDOU YOSHIHIRO;KAWAGUCHI JIYUN;MIZUKAMI ETSUO;KISHISHITA HIROSHI
分类号 C23C14/36;C23C14/35 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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