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发明名称 STEAM DRYING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS56168072(A) 申请公布日期 1981.12.24
申请号 JP19800071397 申请日期 1980.05.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANAI AKIRA;TOCHIKUBO HIROO
分类号 F26B21/14;F26B3/00;H01L21/304 主分类号 F26B21/14
代理机构 代理人
主权项
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