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发明名称
Kathodenzerstäubungskammervorrichtung für hochfrequenzversorgte Kathodenzerstäubung.
摘要
申请公布号
DE3885043(T2)
申请公布日期
1994.02.10
申请号
DE19883885043T
申请日期
1988.08.24
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
KATSURA, TOSHIHIKO PAT. DIV., K.K. TOSHIBA, MINATO-KU TOKYO 105, JP;ABE, MASAHIRO PAT. DIV., K.K. TOSHIBA, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号
H01L21/31;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/40;H01L21/30
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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