发明名称 Kathodenzerstäubungskammervorrichtung für hochfrequenzversorgte Kathodenzerstäubung.
摘要
申请公布号 DE3885043(T2) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 DE19883885043T 申请日期 1988.08.24
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KATSURA, TOSHIHIKO PAT. DIV., K.K. TOSHIBA, MINATO-KU TOKYO 105, JP;ABE, MASAHIRO PAT. DIV., K.K. TOSHIBA, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/31;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/40;H01L21/30 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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