发明名称 ANORDNING FOR KONTINUERLIG BEHANDLING AV ET FILMMATERIALE MED LAV TEMPERATUR-PLASMA
摘要
申请公布号 NO812087(A) 申请公布日期 1981.12.22
申请号 NO19810002087 申请日期 1981.06.19
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.,;HITACHI LTD, 发明人 IMADA, KIYOSHI,;UENO, SUSUMU,;NOMURA, HIROKAZU,;KOBAYASHI, HIROAKI,;HATADA, KENJI,;ABE, KAZUHIKO,;HATA, YOSHITADA,;TOHKAI, MASAIE,;KATO, KENICHI,
分类号 B01J19/08;B29C59/14;B29C71/04;B29D7/01;C08J7/00;D06B19/00;D06M10/02;F16J15/00;F16J15/16;H01J37/18;(IPC1-7):H05H/ 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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