| 发明名称 |
Device Fabrication Entailing Plasma-Derived X-Ray Delineation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2121819(A1) |
申请公布日期 |
1994.11.21 |
| 申请号 |
CA19942121819 |
申请日期 |
1994.04.21 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
WHITE, DONALD L. |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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