| 发明名称 |
COATING METHOD AND EQUIPMENT FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0750471(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19930194644 |
申请日期 |
1993.08.05 |
| 申请人 |
FUJITSU TEN LTD |
发明人 |
IKEDO KENJI;SAEKI TAKAAKI |
| 分类号 |
B05C3/09;B05C11/10;B05D1/18;B05D3/00;H05K3/28;(IPC1-7):H05K3/28 |
主分类号 |
B05C3/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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