PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS HYBRIDES A CONDENSATEURS ET RESISTANCES INTEGRES ET CIRCUITS OBTENUS PAR CE PROCEDE

摘要

PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS HYBRIDES A CONDENSATEURS ET RESISTANCES INTEGRES ET CIRCUITS OBTENUS PAR CE PROCEDE.

ON UTILISE UNE COUCHE DE TANTALE DOPEE A L'AZOTE ET A L'OXYGENE ET ON EFFECTUE UNE OXYDATION ANODIQUE SELECTIVE POUR AMINCIR LA COUCHE DE TANTALE DES RESISTANCES.

APPLICATION EN ELECTRONIQUE NOTAMMENT DANS LA REALISATION DE FILTRES ACTIFS.