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发明名称 PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 AT123357(T) 申请公布日期 1995.06.15
申请号 AT19910102830T 申请日期 1991.02.26
申请人 STRAEMKE, SIEGFRIED, DR. 发明人 STRAEMKE, SIEGFRIED, DR.
分类号 C23C16/54;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/18 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
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