| 发明名称 |
ETCHING SOLUTION FOR THE ETCHING OF SILICON OXIDES ON A SUBSTRATE AND ETCHING PROCESS USING THAT SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0012955(A3) |
申请公布日期 |
1981.12.16 |
| 申请号 |
EP19790105178 |
申请日期 |
1979.12.14 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
GAJDA, JOSEPH JOHN |
| 分类号 |
C09K13/08;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C09K13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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