发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR USING SEALED CONTAINER
摘要
申请公布号 JPS56164095(A) 申请公布日期 1981.12.16
申请号 JP19800069473 申请日期 1980.05.23
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 KIYOMURA AKIO;TAMURA ISAMU
分类号 C30B11/06;C30B11/12;C30B29/40;C30B29/44;H01L21/02;H01L21/208;H01L21/324 主分类号 C30B11/06
代理机构 代理人
主权项
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